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    mos管工作原理-最全面mos管工作原理文章
    • 發(fā)布時(shí)間:2019-08-08 16:50:14
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    MOS管工作原理
    MOS管定義
    MOS管學(xué)名是場(chǎng)效應(yīng)管,是金屬-氧化物-半導(dǎo)體型場(chǎng)效應(yīng)管,屬于絕緣柵型。
    其結(jié)構(gòu)示意圖:
    mos管工作原理
    結(jié)構(gòu)示意圖解析
    1)溝道
    上面圖中,下邊的p型中間一個(gè)窄長(zhǎng)條就是溝道,使得左右兩塊P型極連在一起,因此mos管導(dǎo)通后是電阻特性,因此它的一個(gè)重要參數(shù)就是導(dǎo)通電阻,選用mos管必須清楚這個(gè)參數(shù)是否符合需求。
    2)n型
    上圖表示的是p型mos管,讀者可以依據(jù)此圖理解n型的,都是反過(guò)來(lái)即可。因此,不難理解,n型的如圖在柵極加正壓會(huì)導(dǎo)致導(dǎo)通,而p型的相反。
    3)增強(qiáng)型
    相對(duì)于耗盡型,增強(qiáng)型是通過(guò)“加厚”導(dǎo)電溝道的厚度來(lái)導(dǎo)通,如圖。柵極電壓越低,則p型源、漏極的正離子就越靠近中間,n襯底的負(fù)離子就越遠(yuǎn)離柵極,柵極電壓達(dá)到一個(gè)值,叫閥值或坎壓時(shí),由p型游離出來(lái)的正離子連在一起,形成通道,就是圖示效果。因此,容易理解,柵極電壓必須低到一定程度才能導(dǎo)通,電壓越低,通道越厚,導(dǎo)通電阻越小。由于電場(chǎng)的強(qiáng)度與距離平方成正比,因此,電場(chǎng)強(qiáng)到一定程度之后,電壓下降引起的溝道加厚就不明顯了,也是因?yàn)閚型負(fù)離子的“退讓”是越來(lái)越難的。耗盡型的是事先做出一個(gè)導(dǎo)通層,用柵極來(lái)加厚或者減薄來(lái)控制源漏的導(dǎo)通。但這種管子一般不生產(chǎn),在市面基本見(jiàn)不到。所以,大家平時(shí)說(shuō)mos管,就默認(rèn)是增強(qiáng)型的。
    4)左右對(duì)稱
    圖示左右是對(duì)稱的,難免會(huì)有人問(wèn)怎么區(qū)分源極和漏極呢?其實(shí)原理上,源極和漏極確實(shí)是對(duì)稱的,是不區(qū)分的。但在實(shí)際應(yīng)用中,廠家一般在源極和漏極之間連接一個(gè)二極管,起保護(hù)作用,正是這個(gè)二極管決定了源極和漏極,這樣,封裝也就固定了,便于實(shí)用。我的老師年輕時(shí)用過(guò)不帶二極管的mos管。非常容易被靜電擊穿,平時(shí)要放在鐵質(zhì)罐子里,它的源極和漏極就是隨便接。
    5)金屬氧化物膜
    圖中有指示,這個(gè)膜是絕緣的,用來(lái)電氣隔離,使得柵極只能形成電場(chǎng),不能通過(guò)直流電,因此是用電壓控制的。在直流電氣上,柵極和源漏極是斷路。不難理解,這個(gè)膜越薄:電場(chǎng)作用越好、坎壓越小、相同柵極電壓時(shí)導(dǎo)通能力越強(qiáng)。壞處是:越容易擊穿、工藝制作難度越大而價(jià)格越貴。例如導(dǎo)通電阻在歐姆級(jí)的,1角人民幣左右買一個(gè),而2402等在十毫歐級(jí)的,要2元多(批量買。零售是4元左右)。
    6)與實(shí)物的區(qū)別
    上圖僅僅是原理性的,實(shí)際的元件增加了源-漏之間跨接的保護(hù)二極管,從而區(qū)分了源極和漏極。實(shí)際的元件,p型的,襯底是接正電源的,使得柵極預(yù)先成為相對(duì)負(fù)電壓,因此p型的管子,柵極不用加負(fù)電壓了,接地就能保證導(dǎo)通。相當(dāng)于預(yù)先形成了不能導(dǎo)通的溝道,嚴(yán)格講應(yīng)該是耗盡型了。好處是明顯的,應(yīng)用時(shí)拋開(kāi)了負(fù)電壓。
    7)寄生電容
    上圖的柵極通過(guò)金屬氧化物與襯底形成一個(gè)電容,越是高品質(zhì)的mos,膜越薄,寄生電容越大,經(jīng)常mos管的寄生電容達(dá)到nF級(jí)。這個(gè)參數(shù)是mos管選擇時(shí)至關(guān)重要的參數(shù)之一,必須考慮清楚。Mos管用于控制大電流通斷,經(jīng)常被要求數(shù)十K乃至數(shù)M的開(kāi)關(guān)頻率,在這種用途中,柵極信號(hào)具有交流特征,頻率越高,交流成分越大,寄生電容就能通過(guò)交流電流的形式通過(guò)電流,形成柵極電流。消耗的電能、產(chǎn)生的熱量不可忽視,甚至成為主要問(wèn)題。為了追求高速,需要強(qiáng)大的柵極驅(qū)動(dòng),也是這個(gè)道理。試想,弱驅(qū)動(dòng)信號(hào)瞬間變?yōu)楦唠娖剑菫榱?ldquo;灌滿”寄生電容需要時(shí)間,就會(huì)產(chǎn)生上升沿變緩,對(duì)開(kāi)關(guān)頻率形成重大威脅直至不能工作。
    8)如何工作在放大區(qū)
    Mos管也能工作在放大區(qū),而且很常見(jiàn)。做鏡像電流源、運(yùn)放、反饋控制等,都是利用mos管工作在放大區(qū),由于mos管的特性,當(dāng)溝道處于似通非通時(shí),柵極電壓直接影響溝道的導(dǎo)電能力,呈現(xiàn)一定的線性關(guān)系。由于柵極與源漏隔離,因此其輸入阻抗可視為無(wú)窮大,當(dāng)然,隨頻率增加阻抗就越來(lái)越小,一定頻率時(shí),就變得不可忽視。這個(gè)高阻抗特點(diǎn)被廣泛用于運(yùn)放,運(yùn)放分析的虛連、虛斷兩個(gè)重要原則就是基于這個(gè)特點(diǎn)。這是三極管不可比擬的。
    9)mos管發(fā)熱原因
    Mos管發(fā)熱,主要原因之一是寄生電容在頻繁開(kāi)啟關(guān)閉時(shí),顯現(xiàn)交流特性而具有阻抗,形成電流。有電流就有發(fā)熱,并非電場(chǎng)型的就沒(méi)有電流。另一個(gè)原因是當(dāng)柵極電壓爬升緩慢時(shí),導(dǎo)通狀態(tài)要“路過(guò)”一個(gè)由關(guān)閉到導(dǎo)通的臨界點(diǎn),這時(shí),導(dǎo)通電阻很大,發(fā)熱比較厲害。第三個(gè)原因是導(dǎo)通后,溝道有電阻,過(guò)主電流,形成發(fā)熱。主要考慮的發(fā)熱是第1和第3點(diǎn)。許多mos管具有結(jié)溫過(guò)高保護(hù),所謂結(jié)溫就是金屬氧化膜下面的溝道區(qū)域溫度,一般是150攝氏度。超過(guò)此溫度,mos管不可能導(dǎo)通。溫度下降就恢復(fù)。要注意這種保護(hù)狀態(tài)的后果。
    mos管選型四要領(lǐng)
    1)用N溝道orP溝道
    選擇好MOS管器件的第一步是決定采用N溝道還是P溝道MOS管。在典型的功率應(yīng)用中,當(dāng)一個(gè)MOS管接地,而負(fù)載連接到干線電壓上時(shí),該MOS管就構(gòu)成了低壓側(cè)開(kāi)關(guān)。在低壓側(cè)開(kāi)關(guān)中,應(yīng)采用N溝道MOS管,這是出于對(duì)關(guān)閉或?qū)ㄆ骷桦妷旱目紤]。當(dāng)MOS管連接到總線及負(fù)載接地時(shí),就要用高壓側(cè)開(kāi)關(guān)。通常會(huì)在這個(gè)拓?fù)渲胁捎肞溝道MOS管,這也是出于對(duì)電壓驅(qū)動(dòng)的考慮。
    2)確定MOS管的額定電流
    該額定電流應(yīng)是負(fù)載在所有情況下能夠承受的最大電流。與電壓的情況相似,確保所選的MOS管能承受這個(gè)額定電流,即使在系統(tǒng)產(chǎn)生尖峰電流時(shí)。兩個(gè)考慮的電流情況是連續(xù)模式和脈沖尖峰。在連續(xù)導(dǎo)通模式下,MOS管處于穩(wěn)態(tài),此時(shí)電流連續(xù)通過(guò)器件。脈沖尖峰是指有大量電涌(或尖峰電流)流過(guò)器件。一旦確定了這些條件下的最大電流,只需直接選擇能承受這個(gè)最大電流的器件便可。
    3)選擇MOS管的下一步是系統(tǒng)的散熱要求
    須考慮兩種不同的情況,即最壞情況和真實(shí)情況。建議采用針對(duì)最壞情況的計(jì)算結(jié)果,因?yàn)檫@個(gè)結(jié)果提供更大的安全余量,能確保系統(tǒng)不會(huì)失效。
    4)選擇MOS管的最后一步是決定MOS管的開(kāi)關(guān)性能
    影響開(kāi)關(guān)性能的參數(shù)有很多,但最重要的是柵極/漏極、柵極/源極及漏極/源極電容。這些電容會(huì)在器件中產(chǎn)生開(kāi)關(guān)損耗,因?yàn)樵诿看伍_(kāi)關(guān)時(shí)都要對(duì)它們充電。MOS管的開(kāi)關(guān)速度因此被降低,器件效率也下降。為計(jì)算開(kāi)關(guān)過(guò)程中器件的總損耗,要計(jì)算開(kāi)通過(guò)程中的損耗(Eon)和關(guān)閉過(guò)程中的損耗(Eoff)。
    了解了MOS管的選取法則,那么工程師們選擇的時(shí)候就可以通過(guò)這些法則去選取所要的MOS管了,從而讓整個(gè)電路工作能順利進(jìn)行下去。不會(huì)因?yàn)镸OS管的不合適而影響后面的各項(xiàng)工作和事宜。
    失效6因果
    MOS失效原因:
    1)雪崩失效(電壓失效),也就是我們常說(shuō)的漏源間的BVdss電壓超過(guò)MOSFET的額定電壓,并且超過(guò)達(dá)到了一定的能力從而導(dǎo)致MOSFET失效。
    2)SOA失效(電流失效),既超出MOSFET安全工作區(qū)引起失效,分為Id超出器件規(guī)格失效以及Id過(guò)大,損耗過(guò)高器件長(zhǎng)時(shí)間熱積累而導(dǎo)致的失效。
    3)體二極管失效:在橋式、LLC等有用到體二極管進(jìn)行續(xù)流的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)中,由于體二極管遭受破壞而導(dǎo)致的失效。
    4)諧振失效:在并聯(lián)使用的過(guò)程中,柵極及電路寄生參數(shù)導(dǎo)致震蕩引起的失效。
    5)靜電失效:在秋冬季節(jié),由于人體及設(shè)備靜電而導(dǎo)致的器件失效。
    6)柵極電壓失效:由于柵極遭受異常電壓尖峰,而導(dǎo)致柵極柵氧層失效。具體分析如下:
    1)雪崩失效分析(電壓失效)
    到底什么是雪崩失效呢,簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)MOSFET在電源板上由于母線電壓、變壓器反射電壓、漏感尖峰電壓等等系統(tǒng)電壓疊加在MOSFET漏源之間,導(dǎo)致的一種失效模式。簡(jiǎn)而言之就是由于就是MOSFET漏源極的電壓超過(guò)其規(guī)定電壓值并達(dá)到一定的能量限度而導(dǎo)致的一種常見(jiàn)的失效模式。
    下面的圖片為雪崩測(cè)試的等效原理圖,做為電源工程師可以簡(jiǎn)單了解下。
    mos管工作原理
    可能我們經(jīng)常要求器件生產(chǎn)廠家對(duì)我們電源板上的MOSFET進(jìn)行失效分析,大多數(shù)廠家都僅僅給一個(gè)EAS.EOS之類的結(jié)論,那么到底我們?cè)趺磪^(qū)分是否是雪崩失效呢,下面是一張經(jīng)過(guò)雪崩測(cè)試失效的器件圖,我們可以進(jìn)行對(duì)比從而確定是否是雪崩失效。
    雪崩失效的預(yù)防措施
    雪崩失效歸根結(jié)底是電壓失效,因此預(yù)防我們著重從電壓來(lái)考慮。具體可以參考以下的方式來(lái)處理。
    1:合理降額使用,目前行業(yè)內(nèi)的降額一般選取80%-95%的降額,具體情況根據(jù)企業(yè)的保修條款及電路關(guān)注點(diǎn)進(jìn)行選取。
    2:合理的變壓器反射電壓。
    3:合理的RCD及TVS吸收電路設(shè)計(jì)。
    4:大電流布線盡量采用粗、短的布局結(jié)構(gòu),盡量減少布線寄生電感。
    5:選擇合理的柵極電阻Rg。
    6:在大功率電源中,可以根據(jù)需要適當(dāng)?shù)募尤隦C減震或齊納二極管進(jìn)行吸收。
    2)SOA失效(電流失效)
    再簡(jiǎn)單說(shuō)下第二點(diǎn),SOA失效
    SOA失效是指電源在運(yùn)行時(shí)異常的大電流和電壓同時(shí)疊加在MOSFET上面,造成瞬時(shí)局部發(fā)熱而導(dǎo)致的破壞模式。或者是芯片與散熱器及封裝不能及時(shí)達(dá)到熱平衡導(dǎo)致熱積累,持續(xù)的發(fā)熱使溫度超過(guò)氧化層限制而導(dǎo)致的熱擊穿模式。
    關(guān)于SOA各個(gè)線的參數(shù)限定值可以參考下面圖片。
    mos管工作原理
    1:受限于最大額定電流及脈沖電流
    2:受限于最大節(jié)溫下的RDSON。
    3:受限于器件最大的耗散功率。
    4:受限于最大單個(gè)脈沖電流。
    5:擊穿電壓BVDSS限制區(qū)
    我們電源上的MOSFET,只要保證能器件處于上面限制區(qū)的范圍內(nèi),就能有效的規(guī)避由于MOSFET而導(dǎo)致的電源失效問(wèn)題的產(chǎn)生。
    這個(gè)是一個(gè)非典型的SOA導(dǎo)致失效的一個(gè)解刨圖,由于去過(guò)鋁,可能看起來(lái)不那么直接,參考下。
    mos管工作原理
    SOA失效的預(yù)防措施
    1:確保在最差條件下,MOSFET的所有功率限制條件均在SOA限制線以內(nèi)。
    2:將OCP功能一定要做精確細(xì)致。
    在進(jìn)行OCP點(diǎn)設(shè)計(jì)時(shí),一般可能會(huì)取1.1-1.5倍電流余量的工程師居多,然后就根據(jù)IC的保護(hù)電壓比如0.7V開(kāi)始調(diào)試RSENSE電阻。
    有些有經(jīng)驗(yàn)的人會(huì)將檢測(cè)延遲時(shí)間、CISS對(duì)OCP實(shí)際的影響考慮在內(nèi)。
    但是此時(shí)有個(gè)更值得關(guān)注的參數(shù),那就是MOSFET的Td(off)。
    它到底有什么影響呢,我們看下面FLYBACK電流波形圖(圖形不是太清楚,十分抱歉,建議雙擊放大觀看)
    mos管工作原理
    從圖中可以看出,電流波形在快到電流尖峰時(shí),有個(gè)下跌,這個(gè)下跌點(diǎn)后又有一段的上升時(shí)間,這段時(shí)間其本質(zhì)就是IC在檢測(cè)到過(guò)流信號(hào)執(zhí)行關(guān)斷后,MOSFET本身也開(kāi)始執(zhí)行關(guān)斷,但是由于器件本身的關(guān)斷延遲,因此電流會(huì)有個(gè)二次上升平臺(tái),如果二次上升平臺(tái)過(guò)大,那么在變壓器余量設(shè)計(jì)不足時(shí),就極有可能產(chǎn)生磁飽和的一個(gè)電流沖擊或者電流超器件規(guī)格的一個(gè)失效。
    3:合理的熱設(shè)計(jì)余量,這個(gè)就不多說(shuō)了,各個(gè)企業(yè)都有自己的降額規(guī)范,嚴(yán)格執(zhí)行就可以了,不行就加散熱器。
    3)體二極管失效
    在不同的拓?fù)洹㈦娐分校琈OSFET有不同的角色,比如在LLC中,體內(nèi)二極管的速度也是MOSFET可靠性的重要因素。漏源間的體二極管失效和漏源電壓失效很難區(qū)分,因?yàn)槎O管本身屬于寄生參數(shù)。雖然失效后難以區(qū)分軀體緣由,但是預(yù)防電壓及二極管失效的解決辦法存在較大差異,主要結(jié)合自己電路來(lái)分析。
    體二極管失效預(yù)防措施
    其實(shí)有那個(gè)體二極管,在大部分時(shí)候都不礙事,而且有時(shí)候還有好處,比如用在H橋上,省得并二極管了。當(dāng)然也有礙事的時(shí)候,那就用兩個(gè)MOS管頭頂頭或者尾對(duì)尾串聯(lián)起來(lái)就可以了。
    那個(gè)二極管是工藝決定的,也不必太在意,接受它的存在就好了。還有,多說(shuō)兩句,其實(shí)MOS管的D和S本質(zhì)上是對(duì)稱的結(jié)構(gòu),只是溝道的兩個(gè)接點(diǎn)。但是由于溝道的開(kāi)啟和關(guān)閉涉及到柵極和襯底之間的電場(chǎng),那么就需要給襯底一個(gè)確定的電位。又因?yàn)镸OS管只有3個(gè)管腳,所以需要把襯底接到另外兩個(gè)管腳之一。那么接了襯底的管腳就是S了,沒(méi)接襯底的管腳就是D,我們應(yīng)用時(shí),S的電位往往是穩(wěn)定的。在集成電路中,比如CMOS中或者還有模擬開(kāi)關(guān)中,由于芯片本身有電源管腳,所以那些MOS管的襯底并不和管腳接在一起,而是直接接到電源的VCC或者VEE,這時(shí)候D和S就沒(méi)有任何區(qū)別了。
    4)諧振失效
    在并聯(lián)功率MOS FET時(shí)未插入柵極電阻而直接連接時(shí)發(fā)生的柵極寄生振蕩。高速反復(fù)接通、斷開(kāi)漏極-源極電壓時(shí),在由柵極-漏極電容Cgd(Crss)和柵極引腳電感Lg形成的諧振電路上發(fā)生此寄生振蕩。當(dāng)諧振條件(ωL=1/ωC)成立時(shí),在柵極-源極間外加遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于驅(qū)動(dòng)電壓Vgs(in)的振動(dòng)電壓,由于超出柵極-源極間額定電壓導(dǎo)致柵極破壞,或者接通、斷開(kāi)漏極-源極間電壓時(shí)的振動(dòng)電壓通過(guò)柵極-漏極電容Cgd和Vgs波形重疊導(dǎo)致正向反饋,因此可能會(huì)由于誤動(dòng)作引起振蕩破壞。
    諧振失效預(yù)防措施
    電阻可以抑制振蕩, 是因?yàn)樽枘岬淖饔谩5珫艠O串接一個(gè)小電阻, 并非解決振蕩阻尼問(wèn)題. 主要還是驅(qū)動(dòng)電路阻抗匹配的原因, 和調(diào)節(jié)功率管開(kāi)關(guān)時(shí)間的原因。
    5)靜電失效
    靜電的基本物理特征為:有吸引或排斥的力量;有電場(chǎng)存在,與大地有電位差;會(huì)產(chǎn)生放電電流。這三種情形會(huì)對(duì)電子元件造成以下影響:
    1.元件吸附灰塵,改變線路間的阻抗,影響元件的功能和壽命。
    2.因電場(chǎng)或電流破壞元件絕緣層和導(dǎo)體,使元件不能工作(完全破壞)。
    3.因瞬間的電場(chǎng)軟擊穿或電流產(chǎn)生過(guò)熱,使元件受傷,雖然仍能工作,但是壽命受損。
    靜電失效的預(yù)防措施
    MOS電路輸入端的保護(hù)二極管,其導(dǎo)通時(shí)電流容限一般為1mA 在可能出現(xiàn)過(guò)大瞬態(tài)輸入電流(超過(guò)10mA)時(shí),應(yīng)串接輸入保護(hù)電阻。而129#在初期設(shè)計(jì)時(shí)沒(méi)有加入保護(hù)電阻,所以這也是MOS管可能擊穿的原因,而通過(guò)更換一個(gè)內(nèi)部有保護(hù)電阻的MOS管應(yīng)可防止此種失效的發(fā)生。還有由于保護(hù)電路吸收的瞬間能量有限,太大的瞬間信號(hào)和過(guò)高的靜電電壓將使保護(hù)電路失去作用。所以焊接時(shí)電烙鐵必須可靠接地,以防漏電擊穿器件輸入端,一般使用時(shí),可斷電后利用電烙鐵的余熱進(jìn)行焊接,并先焊其接地管腳。6)柵極電壓失效
    柵極的異常高壓來(lái)源主要有以下3種原因:
    1:在生產(chǎn)、運(yùn)輸、裝配過(guò)程中的靜電。
    2:由器件及電路寄生參數(shù)在電源系統(tǒng)工作時(shí)產(chǎn)生的高壓諧振。
    3:在高壓沖擊時(shí),高電壓通過(guò)Ggd傳輸?shù)綎艠O(在雷擊測(cè)試時(shí),這種原因?qū)е碌氖л^為常見(jiàn))。
    至于PCB污染等級(jí)、電氣間隙及其它高壓擊穿IC后進(jìn)入柵極等現(xiàn)象就不做過(guò)多解釋。
    柵極電壓失效的預(yù)防措施
    柵源間的過(guò)電壓保護(hù):如果柵源間的阻抗過(guò)高,則漏源間電壓的突變會(huì)通過(guò)極間電容耦合到柵極而產(chǎn)生相當(dāng)高的UGS電壓過(guò)沖,這一電壓會(huì)引起柵極氧化層永久性損壞,如果是正方向的UGS瞬態(tài)電壓還會(huì)導(dǎo)致器件的誤導(dǎo)通。為此要適當(dāng)降低柵極驅(qū)動(dòng)電路的阻抗,在柵源之間并接阻尼電阻或并接穩(wěn)壓值約20V的穩(wěn)壓管。特別要注意防止柵極開(kāi)路工作。其次是漏極間的過(guò)電壓防護(hù)。如果電路中有電感性負(fù)載,則當(dāng)器件關(guān)斷時(shí),漏極電流的突變(di/dt)會(huì)產(chǎn)生比電源電壓高的多的漏極電壓過(guò)沖,導(dǎo)致器件損壞。應(yīng)采取穩(wěn)壓管箝位,RC箝位或RC抑制電路等保護(hù)措施。
    補(bǔ)充下,MOSFET損壞主要有使用/品質(zhì)工藝兩方面原因.  使用方面:
    1)靜電損壞,初期可能還象好管子一樣開(kāi)關(guān),經(jīng)過(guò)一段時(shí)間后會(huì)失效炸機(jī),GDS全短路.
    2)空間等離子損傷,輕者和靜電損壞一樣,重者直接GDS短路.大家要注意啊!放MOSFET或IGBT/COMS器件的地方千萬(wàn)別用負(fù)離子發(fā)生器或有此功能的空調(diào)!
    3)漏電損傷,多數(shù)情況下GDS全短路,個(gè)別會(huì)DS或GD斷路.
    4)過(guò)驅(qū)動(dòng),驅(qū)動(dòng)電壓超過(guò)18V后,經(jīng)過(guò)一段時(shí)間使用會(huì)GDS全短.
    5)使用負(fù)壓關(guān)閉,柵加負(fù)壓后,MOSFET抗噪能力加強(qiáng),但DS耐壓能力下降,不適當(dāng)?shù)呢?fù)壓,會(huì)導(dǎo)致DS耐壓不夠而被擊穿損壞而GDS短路.
    6)柵寄生感應(yīng)負(fù)壓損壞,和不適當(dāng)?shù)呢?fù)壓驅(qū)動(dòng)一樣,只是該負(fù)壓不是人為加上的,是由于線路寄生LC感應(yīng),在刪上感應(yīng)生成負(fù)脈沖.
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